使用高架式芯片运输车(OHT)系统将FOUP从一组设备运送到另一组。据汪正评说,在大型晶圆厂中,OHT轨道可以长达7公里,可容纳上百辆汽车。
此时自动化材料处理系统(AMHS)正在以每小时8公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。
生产在线的晶圆传送盒(FOUP)能携带6片3寸晶圆,在数公里的高空轨道上经过扩散、清洗、微影、蚀刻、抛光、薄膜与量测等数道程序。目前整个工厂员工总数约有1700人,以轮班制维持24小时生产线运作。
生产线上可以看到有很多身穿无尘衣的技术人员在忙碌着,石莫还和一线作业员进行了短暂的交流,询问生产的相关情况。
石莫最关心的是生产安全问题,半导体制造行业是一个高危行业,其中很多的化工用品都是致癌物,如苯、氢氟酸、硝酸等,原料上,二氧化硅并没有毒,但是粉末状的二氧化硅气溶胶就会引起尘肺和肺癌,就是有毒的。另外,半导体厂常用的掺杂原料多数有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基镓等等化合物。它们或直接是剧毒物质,或其与空气、水等反应后生成的物质有毒。
三星就因为在管控半导体工厂环境方面存在疏忽,导致工人患癌致病。三星半导体成立十几年来,已经有约320名三星工厂受害者先后换上癌症(血癌,俗称白血病),其中,有118名血癌患者已经死亡。
随后石莫在现场查看了安全生产应急设备的情况,并详细询问汪正评关于安全隐患预防的落实情况。
石莫严肃的向汪正评警告道:“安全生产无小事,安全责任重于泰山,要牢固树立安全发展理念,始终把安全生产放在首要位置,不仅思想上要高度重视,措施上更要管用有力,坚持“安全第一、预防为主、综合治理“的安全生产方针,加强隐患排查整治,坚决克服麻痹思想、侥幸心理,从严从实从细抓好各项工作,坚决防范遏制各类安全生产事故发生。切实提高安全生产管理水平,推动公司安全发展、长远发展啊。”
严格按安全生产的操作规程办事,生产效率可能会受到一些影响,但石莫认为他的公司要有社会责任感,公司必须要认真做好环境管控,有责任心。生命都来之不易,且行且珍惜!
汪正评也知道半导体制造是一个高危行业,正色道:“好的,老板,我会严格要求员工执行规章、正确操作设备,我们现在的生产设备都有严格的防护措施,废弃物都有妥善的处理工艺。”
石莫点点头,以后就看汪正评的执行力度了,石莫可不想出现安全事故后被员工游行示威,然后才被迫道歉赔偿整改等,那得多丢面子,多狼狈啊。
石莫不放心的强调道:“半导体工厂必须建立健全安全生产责任体系,进一步压实责任、强化措施,抓细抓实安全生产工作,不断增强员工的幸福感和安全感。要深化认识,切实增强安全生产的责任感和紧迫感,从保障发展的高度抓好安全生产,全力防范安全生产事故发生。真正把安全第一,预防为主落到实处,不断开创安全生产工作的新局面。”
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